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      Aero 320 自动超声波清洗机

      清洗对象:Magazine 铝合金治具框
      清洗流程:超声波清洗→超声波清洗→超声波清洗→净化热风烘干   清洗介质(纯水)

      典型用户:记忆储存科技(东莞)有限公司


      1. 设备型号名称:AERO 320 超声波清洗机

      2.  清洗对象:

            A.      Ring 不锈钢晶圆环

      B.      Cassette 铝合金晶片盒

      C.      Magazine 铝合金治具框:规格244*82.5*127mm,重量0.4KG

      D.       Tray  塑料托盘

      工序方法

      清洗方式

      清洗时间

      清洗液

      加热功率

      使用温度

      过滤精度

      1

      推车进料

      2

      超声波清洗

      (压缩空气鼓泡)

      34-68KHZ/1.5W

      8-10 min

      清洗剂

      6KW

      40-60

      5μ

      平移式

      3

      超声波漂洗

      (压缩空气鼓泡)

      40-80KHZ/1.5W

      8-10 min

      纯水

      6KW

      40-60

      1μ

      4

      超声波漂洗

      (压缩空气鼓泡)

      40-80KHZ/1.5W

      8-10 min

      纯水

      6KW

      40-60

      1μ

      5

      热风干燥

      热风

      8-10 min

      9KW

      90-120

      平移式

      6

      推车出料














      3.  清洗工艺:进料→超声波清洗(40Khz)→超声波漂洗(40Khz)→热风循环烘干→出料

      4.  清洗工装

      4.1 设备配有规格为:430×430×400mm的清洗外框架5只,采用¢10mm不锈钢元棒焊接制作。Magazine、Cassette型产品直接装载到清洗外框架中清洗,其中B产品可装载2/篮,C型产品可装载8/篮。

      4.2  RingTray型产品需另外制作专用治具装载产品再放入清洗外框架上清洗。治具装载量为:Ring型产品不低于20/框,Tray型产品不低于30/框。治具数量:Ring三种规格各3只,Tray治具3只。


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